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DLC・ダイヤモンドライクカーボンとは  その1 DLCの種類

DLCは「ダイヤモンドライクカーボン」の略で日本語では「硬質炭素被膜」です。1回目はDLCの種類についてです。

2000年位から厳しいしゅう動環境にさらされる自動車エンジン部品への応用が進んだDLCですが合成ダイヤを作る研究の副産物として生まれました。黒鉛(グラファイト)とダイヤの混合物です。成分は炭素(C)で、簡単に言うと「鉛筆の芯」と「ダイヤ」が混ざった薄い膜状のものです。

DLCの種類ですが大きく5つに分かれます。まず製法でPVD(真空蒸着法)とCVD(プラズマ法)にわかれます。PVD-DLCは水素が入らないため硬めです。CVD-DLCは原料のガスに水素があるためDLCも柔らかめです。

またPVD・CVDの中でも黒鉛多めで柔らかいもの(専門的にはSP2軌道)とダイヤ多めで硬いもの(SP3軌道)に分かれます。例外として「ドープDLC」があり、これはドーピング剤(チタンやタングステン・クロムなどの微量金属)入りで入れた金属により性質が全く異なります。ドープDLCはPVD(真空蒸着法)で製造されます。

なおDLCのなかで良く使われるのが「ta-C(テトラヘドラルアモルファスカーボン)」と「a-C:H(水素化アモルファスカーボン)」です。

これをわかりやすく表にすると下記のようになります。この表があればかなり理解がしやすくなると思います。

 

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